ML-300 直接在 3D 曲面玻璃蓋板進行高精度曝光，為客戶帶來高分辨率，高效率及高良率的產(chǎn)品，穩(wěn)定的冷卻系統(tǒng)，確保設(shè)備內(nèi)部保持 22℃的恒溫狀態(tài)，保障了設(shè)備的穩(wěn)定。成功地將集成電路用的微細(xì)工藝“負(fù)性光刻膠”工藝制造技術(shù)，運用在 3D 曲面玻璃蓋板生產(chǎn)上。
此工藝制造技術(shù)，將提升 3D 曲面玻璃蓋板生產(chǎn)一次性良率，可高達 95%以上， 圖案更精細(xì)，色彩還原度更佳。有效改善原傳統(tǒng)絲印良率低、返工率高、線寬粗等弊端。
| 產(chǎn)能 | 良率 | 兼容性 | 打樣成品 |
|---|---|---|---|
| 1200 pcs/h | ≥95% | 高于 所有傳統(tǒng)工藝 | 低于 所有傳統(tǒng)工藝 |
移?。ㄊ褂糜湍仙?
光罩曝光機（使用油墨上色）
GIS-DLP（使用光阻上色）
GIS-DLP（使用光阻上色）
利用TI的圖形發(fā)生器-數(shù)字微鏡器件（DMD）芯片來產(chǎn)生數(shù)字圖像, DMD由80萬或200萬個微鏡組成，在DMD光斑范圍內(nèi)，能保證清晰和銳利的方形網(wǎng)點。這種最新的數(shù)字曝光系統(tǒng)已成為業(yè)界新標(biāo)準(zhǔn)。
工業(yè)級別375納米耦合激光器，自主研發(fā)了激光成像系統(tǒng)，將375納米耦合激光器激光利用率 從傳統(tǒng)的30%提高至50%
DLP（Digital light processing）光學(xué)系統(tǒng)采用UV激光光源，輸出的激光通過特種準(zhǔn)直鏡頭實現(xiàn)對DMD的高均勻照明，最后通過投影鏡頭實現(xiàn)圖形的輸出。投影鏡頭為采用紫外特種光學(xué)材料的雙遠(yuǎn)心鏡頭，具有低畸變，高透過率的特點。
±1μm運動控系統(tǒng)；運動誤差實時補償系統(tǒng)
該方案是用于生產(chǎn)3D蓋板玻璃加工需求，適用于曲面蓋板玻璃工藝；附帶相應(yīng)配合設(shè)備，包括全線配備自動上/下料機、平板/等離子清洗機、自動噴涂機、遂道式表干線、直寫式激光曝光機、顯影/清洗機、遂道式固烤線或立式烤箱等輔助設(shè)備；高分辨率，高生產(chǎn)率，高產(chǎn)量，更薄的厚度，更高的質(zhì)量（外觀）低成本；3D Glass LDI適用領(lǐng)域：可穿戴產(chǎn)品，汽車產(chǎn)品，手機產(chǎn)品，家用電器行業(yè)等
| 等離子清洗 | 3D光阻噴涂 | GIS曝光 | 顯影 | 固化 | 成像 |
|---|---|---|---|---|---|
| 玻璃表面清潔 | 噴涂控制單次膜厚 3μm±0.05 | 公差±0.05mm | 低殘留顯影， 控制顯影效果 | 立體烤箱, 溫度均衡控制 | 清洗后包裝覆膜 發(fā)往客戶端 |
| 規(guī)格參數(shù) / 型號 | GL600系列 |
|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 大曲面車載玻璃 |
| 外觀尺寸mm(可訂制 ) | 2430x1900x2015 |
| 曝光時間CT/pcs | 30-50s |
| 最大曝光面積(可訂制 ) | 1000*300mm |
| 可接受光刻膠厚度 | 1-15um (常規(guī)6um) |
| 額定電壓 | 單相 220V/50HZ 接地良好 |
| 額定壓縮空氣壓力 | 0.8 Mpa |
| 激光輸出波長 | 375nm±10nm |
| 激光傳輸方式 | 光纖 |
| 感光材料 | 光刻膠 |
| 圖像解析分辨率 | 12700dpi |
| 最大功率 | 4KW (Laser 6w ) / 4.5KW (Laser 9w ) |
| 輸出激光功率 | 6W (±3%)/ 9W (±3%) |
| 輸入文件格式 | Gerber274X |
| 曝光精度 | 50±5μ |
| 產(chǎn)品多層套位精度 | 40um |
| 油墨邊緣鋸齒 | ≤15μm |
| VA區(qū)長寬尺寸公差 | ±60um |
| 位置偏差 | ≤60um |
| 硬件重復(fù)精度 | ±10um |
*如有規(guī)格變更恕不另行通知
